正確地識別X 熒光能譜中各種譜峰的性質(zhì)是進(jìn)行準(zhǔn)確定性和定量分析的前提,本文闡述了能量刻度的方法、元素譜峰的重迭干擾及偽峰的識別等問題。 在對樣品能譜進(jìn)行解析之前,首先必須建立一個準(zhǔn)確的能量刻度標(biāo)尺,本文通常選擇高溫合金鋼譜圖中多種輕重元素的Kα峰進(jìn)行能量刻度,以保證整個能譜范圍的標(biāo)定比較準(zhǔn)確。由于放大器增益改變等因素的影響,能量刻度的對應(yīng)關(guān)系也會發(fā)生變化,這對重新測量的標(biāo)樣譜相對舊標(biāo)尺會出現(xiàn)“錯位”(譜圖漂移) ,解決的方法是定期用新測量的標(biāo)樣譜重新進(jìn)行刻度或者改變放大器增益直至標(biāo)樣譜“復(fù)位”。 

實(shí)際譜圖的解析往往相當(dāng)復(fù)雜,實(shí)踐中還常采用下述方法進(jìn)行綜合分析: 
(1) 改變工作電壓以觀察其他譜區(qū),特別是高能端的元素相關(guān)譜線。 
(2) 利用標(biāo)樣譜圖作參考和比較。 
(3) 與其他檢測手段相互配合、取長補(bǔ)短。